石英掩膜版,又稱石英光罩、石英光刻掩模,是半導(dǎo)體光刻工藝中不可或缺的核心圖形轉(zhuǎn)移元件,同時(shí)也是連接芯片設(shè)計(jì)與制造的關(guān)鍵橋梁。其核心構(gòu)成是以高純度合成石英玻璃為基板,表面通過精密加工覆蓋納米級金屬遮光層(常用鉻材料),并形成預(yù)設(shè)的電路圖形結(jié)構(gòu),本質(zhì)上相當(dāng)于芯片制造的“高精度藍(lán)圖”或“納米級照相底片”。